特征:
行程:200*200~300*300
平面度:±4μm
重現(xiàn)度:±1μm
絕對(duì)精度:±4μm
適配無(wú)塵室100,10
適配真空度10~3mbar
適用范圍廣泛,可根據(jù)客戶需要提供整合動(dòng)子模組及不同型式導(dǎo)軌的訂制產(chǎn)品或組合產(chǎn)品,并在短期內(nèi)提供客戶最佳的品質(zhì)
交貨迅速
應(yīng)用:
無(wú)塵室環(huán)境
WAFER加工、檢測(cè)
激光加工機(jī)
Stencill Laster