用途：
用于切割硅片、陶瓷、玻璃及表面貼裝用的電子元件、器件等。切割精度高、可同時多刀進行切割、效率高、設備具有防水、防塵機構設備運行可靠安全。
主要技術要指標：
主軸刀架裝刀數(shù)量
≤13把
刀架裝在設備上，在調(diào)
⑴徑向跳動：≤0.05mm
節(jié)范圍內(nèi)的機械精度
⑵軸向竄動：≤0.008mm
主軸調(diào)速范圍
0～3000 r/min（ 可調(diào)）
工作臺
旋轉 360° 每90°定位，定位精度90°±1′
工作臺面尺寸
（ L×W）240mm×190mm
X、Y、Z軸精度如下表：
X軸
Y軸
Z軸
行程
200mm
300mm
100mm
分辨率
0.001mm
0.002mm
精度
0.003mm
0.012mm
0.008mm
可重復性
0.009mm
0.005mm
速度
2.5～762mm/min
2.5～2540mm/min
0～1270mm/min
直線運動偏差（最大 ）
