快速影像測(cè)量系統(tǒng)介紹
快速影像測(cè)量系統(tǒng)HY-6000，采用全新的測(cè)量技術(shù)。測(cè)量時(shí)，用戶將工件放置到工作臺(tái)上，按一下測(cè)量按鈕即可執(zhí)行自動(dòng)測(cè)量。 新的測(cè)量方法無需使用 XY 坐標(biāo)臺(tái)，顛覆了傳統(tǒng)的邏輯。
檢測(cè)時(shí)間縮短的原因
快速影像測(cè)量系統(tǒng)HY-6000沒有移動(dòng)的坐標(biāo)臺(tái)，可以縮短測(cè)量時(shí)間，這一點(diǎn)不同于光學(xué)比較器、測(cè)量顯微系統(tǒng)以及傳統(tǒng)的影像測(cè)量儀。
HY-6000采用了高精度的 ø100mm 遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)觀測(cè)圖像，能夠同時(shí)對(duì)多個(gè)檢測(cè)位置進(jìn)行精確測(cè)量，測(cè)量算法使用精心編制的快速測(cè)量算法，測(cè)量時(shí)間較傳統(tǒng)測(cè)量算法大幅縮短。
要完成多點(diǎn)測(cè)量只需簡單的兩步操作：
1. 放置工件
2. 按下測(cè)量按鈕
測(cè)量可靠
測(cè)量精度
快速影像測(cè)量系統(tǒng)HY-6000配置了一個(gè)大視野測(cè)量模式，可以覆蓋 ø100mm 的視野，以及另一個(gè)高精度測(cè)量模式，可以對(duì) ø25mm 的區(qū)域進(jìn)行高精度測(cè)量。下表中的規(guī)格顯示了測(cè)量精度和重復(fù)精度。
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高精度測(cè)量模式
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大視野測(cè)量模式
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顯示分辨率
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0.1 µm
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重復(fù)精度
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±1 µm
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±2 µm
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測(cè)量精度
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±2 µm*1
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±8 µm *2
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*1. 距坐標(biāo)臺(tái)中心 ø20 mm 的范圍內(nèi)，焦點(diǎn)位置上的工作溫度范圍為 +23±1.0°C。
*2. 距坐標(biāo)臺(tái)中心 ø80 mm 的范圍內(nèi)，焦點(diǎn)位置上的工作溫度范圍為 +23±1.0°C。
邊緣位置的自動(dòng)亞像素檢測(cè)
使用快速影像測(cè)量系統(tǒng)HY-6000的連續(xù)測(cè)量功能時(shí)無需進(jìn)行邊緣調(diào)整和找出原位的操作。 所有的測(cè)量都是通過自動(dòng)檢測(cè)圖像的對(duì)比度（邊緣）而執(zhí)行，不會(huì)受人為因素的影響，確保了高重復(fù)性和高精度。
最小二乘法擬合處理
對(duì)于線或圓的邊緣檢測(cè)，須指定所謂的“邊緣檢測(cè)區(qū)域”。 在此邊緣區(qū)域中會(huì)使用亞像素處理 （小于 1 個(gè)像素）方法檢測(cè)多個(gè)邊緣點(diǎn)（對(duì)比度）。
例如，檢測(cè)線的默認(rèn)設(shè)置可以檢測(cè) 100 多個(gè)點(diǎn)。 使用最小二乘法根據(jù)邊緣點(diǎn)創(chuàng)建一條直線。實(shí)際情況中邊緣可能不平滑，而最小二乘法擬合會(huì)將此影響降至最低，最大程度保證了測(cè)量的精度。
測(cè)量結(jié)果
易讀取的趨勢(shì)圖一目了然
所有的測(cè)量結(jié)果會(huì)自動(dòng)保存到硬盤中。
通過檢索測(cè)量結(jié)果還能自動(dòng)計(jì)算各種統(tǒng)計(jì)資料。
例如，您能輕松查看顯示隨時(shí)間變化的趨勢(shì)圖，使用戶可以預(yù)測(cè)到潛在的問題，并在其發(fā)生之前將其消除。
