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工作臺(tái)導(dǎo)向部采用在小型直線(xiàn)導(dǎo)向裝置領(lǐng)域贏(yíng)得口碑的直線(xiàn)導(dǎo)軌，直線(xiàn)電機(jī)搭配高分解能線(xiàn)性解碼器，取得高精度的定位精度。
采用高性能釹磁鐵，具備大推力，體型小的同時(shí)能實(shí)現(xiàn)高速高響應(yīng)定位精度。此外，采用劃時(shí)代的無(wú)電纜驅(qū)動(dòng)方式，機(jī)械性接觸部分僅采用直線(xiàn)導(dǎo)向裝置，實(shí)現(xiàn)了高清潔度。
納米直線(xiàn)電機(jī)最適合用作半導(dǎo)體和液晶制造以及要求清潔環(huán)境的檢驗(yàn)、電子元器件裝配裝置等設(shè)備的定位機(jī)構(gòu)。