尼康上市支持半間距40nm工藝的自動(dòng)宏觀檢查裝置
2007-12-06 14:24:33
尼康將于2007年12月15日上市支持300mm晶圓（半間距為40nm）最新半導(dǎo)體量產(chǎn)線的自動(dòng)宏觀檢查裝置“AMI－3400”。該檢測(cè)裝置應(yīng)用了波動(dòng)光學(xué)原理?？梢酝ㄟ^全面、高速地檢測(cè)晶圓的剖面形狀（圖案剖面）變化，將檢測(cè)信息反饋給包括曝光裝置在內(nèi)的主要生產(chǎn)裝置，來提高工藝管理效率。
“AMI系列”的特點(diǎn)是能夠以與掃描電子顯微鏡（SEM）相當(dāng)?shù)撵`敏度對(duì)所有晶圓進(jìn)行全面高速檢查，從而檢測(cè)出曝光裝置焦點(diǎn)變化引起的圖案剖面變化。新產(chǎn)品AMI－3400作為用于半間距40nm量產(chǎn)工藝的檢查裝置，能夠?qū)?yīng)節(jié)點(diǎn)（Node）檢測(cè)需求并提高檢測(cè)靈敏度，在對(duì)300mm晶圓進(jìn)行全面檢查時(shí)，處理能力達(dá)到了160片/小時(shí)以上。由于能夠?qū)Σ煌ば虻暮细衿贩秶槿〕鰪?fù)數(shù)個(gè)獨(dú)立的圖像特征值進(jìn)行學(xué)習(xí)，來抑制制造工藝變化的影響，不降低檢測(cè)靈敏度便可完成檢測(cè)。該裝置1億7000萬日元起價(jià)（價(jià)格因配置而異），預(yù)計(jì)上市第一年度銷售25臺(tái)。
另外，尼康在2007年12月5～7日于幕張MESSE會(huì)展中心（千葉市）舉行的“SEMICON·JAPAN 2007”上對(duì)該檢查裝置進(jìn)行了展板展示。
