自由曲面、平面、輥、微透鏡陣列等的微加工示例。
自由曲面、大面積和超小透鏡。
清晰的處理結(jié)果。
○自由曲面上的微加工（或創(chuàng)建高級且復(fù)雜的自由曲面）
■自由曲面的微小溝槽加工（自由曲面正弦曲線加工）
使用3個(gè)線性軸（X、Y、Z）和3個(gè)旋轉(zhuǎn)軸（B、C1、C2），
可以直接在刀具表面上加工自由曲面上的各種精細(xì)形狀。工件材料：化學(xué)鍍鎳磷
■自由曲面的微小溝槽加工（自由曲面光柵加工）
在寬度為 20 mm 的自由曲面（徽標(biāo)部分）上創(chuàng)建 10,000 個(gè)深度為 1 μm、節(jié)距為 2 μm 的微小凹槽
。槽距精度在±0.15μm以內(nèi)。工件材料：化學(xué)鍍鎳磷
○大中型區(qū)域的各種微細(xì)加工
■適合制造大型光學(xué)薄膜、鏡片模具等。
我們擁有開發(fā)最大加工面積為 φ700 或 1600 x 900 mm 的機(jī)器的記錄。從大型導(dǎo)光板、反射板、偏光片等光學(xué)薄膜到大型透鏡模具，我們都能加工。
■1μm方錐加工
微細(xì)溝槽加工的精度表現(xiàn)在加工前后、左右的交叉點(diǎn)上。
即使進(jìn)行 1μm 方錐加工，也能實(shí)現(xiàn)銳利的交點(diǎn)。工件材質(zhì)：NiP鍍層
■光學(xué)片模具樣品（微細(xì)V槽加工）
使用 90°V 切削刀具創(chuàng)建 40,125 個(gè)深度為 2 μm、節(jié)距為 4 μm 的凹槽。刀具傳送到工件的結(jié)果表明，XZ 軸的插補(bǔ)精度約為 20 nm。
■光學(xué)片模具樣品（細(xì)V槽sin曲線加工）
使用 90°V 切削刀具創(chuàng)建 10,000 個(gè)深度為 1 μm、節(jié)距為 2 μm 的凹槽。根據(jù)刀具傳送到工件的結(jié)果，XYC 軸的插補(bǔ)精度約為 150 nm。
○超小型透鏡加工（φ500μm以下或高深寬、廣域微透鏡陣列加工）
■最小限度的透鏡加工（超小型、高深寬比微透鏡加工）
我們利用具有超低振動(dòng)和恒溫控制的獨(dú)特加工系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了從 φ50μm 到 φ500μm 的極小透鏡加工。此外，還可以進(jìn)行超高深寬比的透鏡加工。
■大面積的極小透鏡加工（達(dá)到A4尺寸）
能夠加工大面積的微透鏡陣列。記錄數(shù)量高達(dá) 350,000 件。刀具磨損極小，并且可以實(shí)現(xiàn)超高質(zhì)量的加工。表面粗糙度：Ra2.1nm、Rz15.3nm。
特征
我們的目標(biāo)是“零轉(zhuǎn)錄錯(cuò)誤”。
最大限度地追求機(jī)器精度和重復(fù)性。
利用 1.1 納米分辨率和
加工點(diǎn)壓倒性的可重復(fù)性來控制值的可跟蹤性。
以“零傳輸誤差”為目標(biāo)的終極納米加工機(jī)。 X，Y，Z和C1軸采用了多年的納米機(jī)發(fā)育，通過多年的納米機(jī)發(fā)育進(jìn)行了徹底完善的非接觸式靜水壓指南。在納米級命令值的處理點(diǎn)上，在處理點(diǎn)上實(shí)現(xiàn)了極好的后續(xù)性能和壓倒性的可重復(fù)性。
2. 兼顧高速進(jìn)給和高質(zhì)量加工。
獨(dú)特開發(fā)的超精密直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。
獨(dú)特開發(fā)的超精密直線電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)X軸和Y軸執(zhí)行器。此外，每臺(tái)機(jī)器都能夠安裝在 Z 軸（上下）（OP）上。 X、Y軸進(jìn)給速度為25m/min，Z軸進(jìn)給速度為1m/min。在提高各個(gè)同步運(yùn)動(dòng)精度的同時(shí)，能夠以比以前更高的速度實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量的加工。
3.六軸聯(lián)動(dòng)控制多種加工。
新開發(fā)的刀具旋轉(zhuǎn)軸（B，C2）可同時(shí)同時(shí)進(jìn)行6軸控制（OP）。實(shí)現(xiàn)自由曲面上兩個(gè)方向的垂直加工，這是傳統(tǒng)機(jī)床不可能實(shí)現(xiàn)的。通過將1納米分辨率進(jìn)給的X、Y、Z軸與工件旋轉(zhuǎn)軸C1軸同步，可以對模具表面進(jìn)行透鏡、照明等各種加工。
4. 基于精確結(jié)構(gòu)分析的機(jī)械設(shè)計(jì)。
床、鞍座、桌子、立柱等均具有經(jīng)過高度計(jì)算和經(jīng)驗(yàn)支持的高剛性結(jié)構(gòu)。設(shè)計(jì)盡可能融入熱對稱結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)原理，并考慮到長期加工和周圍溫度環(huán)境的變化。
5.超精確的油溫和切削液溫度管理。
實(shí)現(xiàn)以0.001（標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格）或0.0001（OP）為單位的超精密油溫控制。徹底抑制溫度變化引起的機(jī)械姿態(tài)和軸變化。此外，切削液或霧液的溫度穩(wěn)定控制在加工點(diǎn)附近的±0.1℃（標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格）。此外，我們還能夠從 Nanovac 產(chǎn)品 (OP) 中選擇并提供與客戶想要執(zhí)行的加工相匹配的加工液。
7. 10年后精度和數(shù)值保持不變。
由于采用非接觸式引導(dǎo)面，因此即使長期使用，精度的下降也很小。此外，蓋環(huán)大量使用SUS，因此即使使用多年也能保持美觀。
8.我們?yōu)槟镜奈⒓庸ぬ峁┤嬷С郑ǜ粽?、環(huán)境溫度、測量和CAD/CAM 。
為了進(jìn)行高度可重復(fù)和高精度的微加工，有必要設(shè)計(jì)和構(gòu)建一個(gè)“加工系統(tǒng)”來捕獲整個(gè)加工過程，而不僅僅是一臺(tái)機(jī)器。由此，Nagase 提出了一套包括隔振臺(tái)、腔室、測量設(shè)備和適合微加工的 CAD/CAM 的套件。詳情請參閱下面的選項(xiàng)欄。
■加工30nm溝槽時(shí)縱軸重復(fù)精度為2.7nm
■加工點(diǎn)步進(jìn)精度10nm
■使用直線軸（X、Y、Z軸）和工件旋轉(zhuǎn)軸（C1軸）進(jìn)行加工。
C1軸超精密分度重復(fù)定位精度為0.189秒。
■由于具有超低振動(dòng)特性，因此可以安裝ZYGO等白色干涉儀，在機(jī)器上進(jìn)行非接觸式表面形狀測量。
咨詢電話：13522079385
選項(xiàng)：
構(gòu)建獨(dú)特的處理系統(tǒng)
需要許多技術(shù)和想法：
■超精密主動(dòng)隔振系統(tǒng)“納米穩(wěn)定器”
即使在獨(dú)立基礎(chǔ)上，為了消除約 30 至 50 nm 的外部干擾，也可以采用采用三點(diǎn)支撐的伺服加速度反饋控制的主動(dòng)隔振系統(tǒng) (OP)。
■超精密環(huán)境溫度控制系統(tǒng)“Nano Enviror”
為了抑制加工機(jī)械本身的變形和工件的熱變形，溫度以1/100℃或1/1000℃為單位進(jìn)行控制。我們提供超精密固定型和易于安裝的簡單型，該型采用廣泛的隔熱材料以實(shí)現(xiàn) 24 小時(shí) 23°C ± 0.1°C 的溫度。
■超精密刀具形狀測量裝置“Nano Eye”
以亞微米分辨率測量旋轉(zhuǎn)工具?？梢宰詣?dòng)測量刀尖位置和直徑以及各種類型的刀具跳動(dòng)測量。測量數(shù)據(jù)可通過數(shù)值輸出和視覺輸出（OP）進(jìn)行確認(rèn)。
■支持非球面加工等的CAD/CAM軟件“CAP-nano1”。
我們豐富了加工支持的數(shù)值計(jì)算軟件，最大限度地減少對工人技術(shù)技能的依賴。它還與非球面等功能表面兼容，并且可以通過輸入功能公式（OP）輕松轉(zhuǎn)換為CAD/CAM程序。
規(guī)格：
型號/項(xiàng)目 尺寸 卡盤尺寸 工作臺(tái)工作區(qū) 行程工作臺(tái)
（Y軸）x十字（X軸） X、Y、Z（垂直）
軸最小單位 工件旋轉(zhuǎn)/刀具旋轉(zhuǎn)軸 X軸/Y軸快速移動(dòng)速度 機(jī)器重量
毫米 毫米 毫米 納米 °（度） 米/分鐘 噸
尼克 300 φ350 φ350 400×650 1 0.000001 20 11
300α φ350 φ350 500×500 1 0.000001 (0.000002) 20 16
700 φ600 700×700 800x800 1 0.000001 25 16
1408 1400×800 1400×800 1750x1000 1 0.000001 25 30
1509 1500×900 1500×900 1800x1210 1 0.000001 25 33
1609 1650×900 1650×900 1800x1210 1 0.000001 25 34
