關(guān)鍵字：晶圓研磨機(jī)、晶圓減薄機(jī)、研磨機(jī)、減薄機(jī)
產(chǎn)品簡介：
德國G&N公司前身為1940年成立的德國Kugelmüller有限公司，并于1964年開發(fā)了世界第一臺半導(dǎo)體晶圓研磨機(jī)。MPS R400 CVP型晶圓研磨機(jī)是德國G&N公司開發(fā)的一款8寸雙軸帶拋光機(jī)晶圓研磨/減薄系統(tǒng)，采用了G&N公司最先進(jìn)的研磨技術(shù)，主要用于對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行減薄，精密研磨與拋光，該系統(tǒng)采用兩個(gè)主軸，一個(gè)主軸同時(shí)安裝粗磨砂輪和精磨砂輪，自動(dòng)切換，另一個(gè)主軸用于拋光去除由研磨造成的損傷層，系統(tǒng)穩(wěn)定性好，研磨精度高，適合科研客戶及小批量生產(chǎn)客戶。
技術(shù)特色：
- 立式進(jìn)給研磨加工方式，通過金剛石砂輪對晶圓進(jìn)行高速減薄加工
- 兼容2,3,4,5,6，8寸晶圓減薄與研磨
- 2個(gè)主軸，1個(gè)主軸用于研磨，一個(gè)主軸用于拋光
- 研磨軸粗磨和精磨自動(dòng)轉(zhuǎn)換
- 砂輪進(jìn)給采用高精度伺服電機(jī)進(jìn)行控制，磨削精度高
- 系統(tǒng)采用高精度平衡系統(tǒng)，可補(bǔ)償在減薄過程中抖動(dòng)，加工穩(wěn)定性好，重復(fù)加工精度高
- 全封閉研磨區(qū)
- 砂輪為金剛石或者CBN
- 多種不同粒度和材料的砂輪用于研磨不同的材料
- 高精度PLC控制器
- 最低限度的TTV
- 可去掉損傷層，優(yōu)化粗糙度
- 可設(shè)置多個(gè)recipe程序自動(dòng)運(yùn)行
- 多種尺寸的真空夾具
- 可配置膜厚測量模塊
-對話式人機(jī)PC操作界面，觸摸屏幕，操作簡便，可儲(chǔ)存多個(gè)recipes
主要參數(shù)：
咨詢電話：13522079385
產(chǎn)品應(yīng)用：
可研磨多種半導(dǎo)體材料，如AlN; Al2O3; GaAs; K2O,GaN; Ge; InP; Si; SiC; Si2N4等
