隨著第五代移動(dòng)通信技術(shù)（5G）的普及和IoT（物聯(lián)網(wǎng)）的快速發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)前景廣闊。在半導(dǎo)體集成電路的精細(xì)化和生產(chǎn)性能的提高上，各大廠商敏銳的發(fā)現(xiàn)了其中的商機(jī)。近日，在日本東京都內(nèi)開幕的半導(dǎo)體國際展會(huì)“SEMICON Japan”上，以日本企業(yè)為主體的近千家半導(dǎo)體設(shè)備與材料廠商展出了最新產(chǎn)品與技術(shù)動(dòng)態(tài)。
展會(huì)上，日立高新技術(shù)株式會(huì)社的電子束檢測(cè)系統(tǒng)GS1000進(jìn)行了展出。GS1000能夠可靠、準(zhǔn)確、可重復(fù)地檢測(cè)和測(cè)量細(xì)微的半導(dǎo)體電路模型。該系統(tǒng)通過使用先進(jìn)的電子光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)開發(fā)的光學(xué)像差校正器，晶圓可以被電子束成像，而在電子束運(yùn)動(dòng)的大范圍內(nèi)分辨率不會(huì)下降，從而實(shí)現(xiàn)在大范圍內(nèi)的高精度檢測(cè)和測(cè)量。GS1000結(jié)合了快速變化的視野，利用光束位移和靈敏的檢測(cè)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了高精度、大面積掃描，掃描速度比傳統(tǒng)的掃描電鏡SEM快100倍。
極紫外光刻機(jī)（EUV）是高精尖芯片制造產(chǎn)線上不可或缺的設(shè)備，但是與以往的光刻機(jī)相比，EUV存在著容易產(chǎn)生電路線寬偏差的問題，所以對(duì)高速度、高精度、大面積掃描的要求更高。
愛德萬測(cè)試公司(ADVANTEST)的第四代高速圖像處理引擎T2000 IP Engine 4也進(jìn)行了參展。T2000 IP Engine 4可以說是業(yè)界最快的圖像處理引擎，可以更好的偵測(cè)CMOS圖像傳感器（CIS）輸出數(shù)據(jù)中的瑕疵。2000 IP Engine 4的系統(tǒng)運(yùn)算性能再升級(jí)，圖像處理速度比以往產(chǎn)品提高了約10倍。不僅能處理巨量圖像數(shù)據(jù)，更縮短了測(cè)試時(shí)間與成本。
最新T2000 IP Engine 4系統(tǒng)搭載于愛德萬的T2000 ISS平臺(tái)，針對(duì)高階智慧型手機(jī)相機(jī)采用高分辨率、高速CIS元件，提供較佳評(píng)價(jià)方法。使用該平臺(tái)，能夠高速檢測(cè)高分辨率CMOS圖像傳感器的輸出數(shù)據(jù)的瑕疵。CMOS圖像傳感器正在被業(yè)界大量應(yīng)用在智能手機(jī)和數(shù)碼相機(jī)中，隨著CMOS像素的不斷提升，測(cè)試時(shí)間會(huì)相應(yīng)增長(zhǎng)，因此，高速測(cè)試是很有必要的。
在半導(dǎo)體晶片的磨削、研磨、拋光方面居世界首位的半導(dǎo)體設(shè)備制造商日本DISCO株式會(huì)社在本次展會(huì)中沒有選擇展示新產(chǎn)品，而是對(duì)既有產(chǎn)品進(jìn)行了詳細(xì)的介紹。目前半導(dǎo)體緊缺，發(fā)售新產(chǎn)品需要花費(fèi)大量的時(shí)間和精力，從產(chǎn)品的研發(fā)、出展到正式批量生產(chǎn)，中間的周期是很長(zhǎng)的，為了最大限度的滿足市場(chǎng)需求，活用經(jīng)營資源，DISCO沒有進(jìn)行新品展示。
在全球半導(dǎo)體短缺告急的大背景下，各大半導(dǎo)體廠商為了滿足市場(chǎng)大量的需求，緊急增加產(chǎn)能，作為半導(dǎo)體制造商，始終貫徹著供給優(yōu)先的原則和態(tài)度。
